最火行星式研磨抛光机的连接机构改造设计物位开关洁身器氮化锰铁车釉笔记本OrE

行星式研磨抛光机的连接机构改造设计

如果气缸活塞杆与上抛光盘采用刚性连接，则要求上下抛光盘两个加工表俩必须有很高高压阀门的平行度，而且气缸活塞杆中心与带动上抛光盘运转的轴心要求有很高的同轴度，给机床的制造和安装带来更多困难。一旦制造或安装中产生误差，就会引起上抛光盘产生倾斜，最终使上下抛光盘不能很好地贴合仿真动物，甚至上下抛光盘产生错盘现象，使工件受力不均，产生较大的尺寸误差及平俩度误差使螺杆和辅机中断作业。

调心球轴承外围滚道旱球，具有调心性能，因此可自动调整因轴或外壳的挠曲或不同心引起的轴心不正。它主要承受径m载以调理材料收缩率)荷，同时可承受较小的轴m载荷。轴的轴m位移限制在游隙限度内，具有自动调心性能，允朗：内、外围相对倾斜不大的条件下正常工作，适用于支座座孔不能严格保证同轴度的部件中。气缸顶柱的转速为60r／min，要求的精度较高，所以应选用调心球轴承，轴承的型是全球面临的主要挑战号代码可定为“1”，顶柱直径中35，选择轴承的内径代码选抒“07”。根据查表选用代码为l207的轴承屿。。

抛光机性能实验分析

在抛光加工过稗中，不同的抛光参数对抛光加工的影响不同，抛光机的性能测试主要是检验抛光机在各种压力下的抛光质量，槲资料分析，抛光质量的好坏决定于抛光后试样表Ⅲ的质量。

1 实验材料及仪器

实验材料：101Ⅲ硅片，洛阳单品硅厂生产。

实验仪器：改造6订后随实验力增加的LZM．6B行星式研磨抛光机。

检测仪器：Mahr Perthometer S2玻璃板表Ⅲ粗糙度测量仪，扫捕长度选抒5．6mm，采样点数11200，垂直轮廓分辨率0．8rim；T分表；SHIMADZUAUY220分析大平。

2抛光压力对材料去除率及表面粗糙度的影响

在不同的加工压力下进行加工实验，测量材料去除率和加工表Ⅲ粗糙度，对比改造6订后的LZM．6B行星式研磨抛光机的加工性能。实验条件如表l所示，每lomin观测一传动件次数据，去除率对比见图4，表面粗糙度对比见图5。